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臭氧消毒柜是典型的表面消毒装置，对于消毒餐具和生活用品特别是怕热物品具有优势。臭氧对餐具消毒的最突出的优点就是无残留毒性。
将洗干净的餐具、茶具等浸入清水中充入臭氧使浓度达到１～２ｍｇ
／ Ｌ，作用１０～２０分钟，可完全杀灭餐具上大肠杆菌等肠道细菌和病毒。
在臭氧消毒柜内浓度达到１５ｍｇ ／ ｍ３以上，密闭作用３０分钟亦可达到消毒效果。
ＹＹ０２１５。２-９５标准中规定，臭氧电子消毒柜在浓度不低于４０ｍｇ
／ ｍ３、消毒时间不短于６０分钟，可保证消毒效果。
密闭性比较好的环境内，相对湿度７０％以上，臭氧气体对光滑物体表面和湿润的粗糙表面上微生物具有很好的杀灭效果。
空间含臭氧量０.２６ｍｇ ／ Ｌ，３０ｍｉｎ可杀灭纸、布、玻璃、金属、塑料等物体表面上大肠杆菌和金黄色葡萄球菌９９.９９％。
浓度达到３５８ｍｇ ／ ｍ３作用５ｍｉｎ，对物体表面大肠埃希菌可杀灭９９％。
１２.５～２３ｍｇ ／ Ｌ浓度臭氧气休熏蒸，作用２０～３０ｍｉｎ可以杀灭图书资料上黑曲霉、桔青霉、桃色拟青霉、蜡叶枝孢霉等真菌。
用０.４３ｍｇ ／ Ｌ臭氧熏蒸消毒医院化验单，３０ｍｉｎ可将化验单表面金黄色葡萄球菌杀灭１００％，
第四层化验单上细菌杀灭率达９９.９９％，
第七层以下几乎受不到臭氧的作用。
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